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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343473(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920151717 申请日期 1992.06.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAMURA SADASHI;TAKASE YOSHIHISA;KONDO SHUJI;FUKUI YASUHARU;MORI NOBORU
分类号 H01L21/52;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
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