| 发明名称 |
ALIGNING METHOD AND PROJECTING EXPOSURE APPARATUS USING THE SAME |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05343291(A) |
申请公布日期 |
1993.12.24 |
| 申请号 |
JP19920171722 |
申请日期 |
1992.06.04 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
MORI TETSUYA;SHINONAGA HIROHIKO;MURAKAMI EIICHI |
| 分类号 |
G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
