发明名称 POWER INTRODUCING MECHANISM AND CONTROLLING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH05343498(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920147781 申请日期 1992.06.09
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 YOKOYAMA YASUHIRO
分类号 B65G47/80;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 B65G47/80
代理机构 代理人
主权项
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