| 发明名称 |
SCANNING TYPE ANALYTICAL MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05343023(A) |
申请公布日期 |
1993.12.24 |
| 申请号 |
JP19920143969 |
申请日期 |
1992.06.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TAKADA KEIJI;HIRUMA TAKEYUKI |
| 分类号 |
H01J37/28;G01Q30/02;G01Q30/04;G01Q60/00;G01Q60/10;G01Q60/16;G01Q60/38;(IPC1-7):H01J37/28 |
主分类号 |
H01J37/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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