发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343400(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920149236 申请日期 1992.06.09
申请人 NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> 发明人 MACHIDA KATSUYUKI;SOMATANI AKIFUMI
分类号 H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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