发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343437(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920153129 申请日期 1992.06.12
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 SHIMIZU KEIJI
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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