发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343416(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920150587 申请日期 1992.06.10
申请人 SHARP CORP 发明人 HIKITA TOMOYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/8222;H01L27/06;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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