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发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05343302(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920150881 申请日期 1992.06.10
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SATO TAKAMASA
分类号 G03F7/20;G21K5/04;H01J37/147;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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