发明名称 TEST JIG
摘要
申请公布号 JPH05340997(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920150500 申请日期 1992.06.10
申请人 HITACHI LTD;HITACHI COMPUT ENG CORP LTD 发明人 ISOBE TERUO;FUJITA NORIHIRO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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