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发明名称 FOREIGN MATTER INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05340883(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920174901 申请日期 1992.06.09
申请人 NIKON CORP 发明人 TASHIRO HIDEYUKI;KIN KIYUUHOU
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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