发明名称 LIGHT-EXCITED SCANNING TUNNEL MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH05340899(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920153284 申请日期 1992.06.12
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAJIYAMA HIROSHI;KONDO SEIICHI;WADA YASUO;IGARASHI KAZUSUKATSU;NAGANO HISASHI
分类号 G01N23/227;G01N37/00;G01Q60/10;H01J37/28;(IPC1-7):G01N23/227 主分类号 G01N23/227
代理机构 代理人
主权项
地址