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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05343367(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920150968 申请日期 1992.06.10
申请人 SONY CORP 发明人 NAGAYAMA TETSUJI;YANAGIDA TOSHIHARU
分类号 H01L21/28;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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