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经营范围
发明名称
TRANSFERRING APPARATUS FOR TREATED OBJECT
摘要
申请公布号
JPH05343495(A)
申请公布日期
1993.12.24
申请号
JP19920169891
申请日期
1992.06.05
申请人
TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD
发明人
OSAWA SATORU
分类号
H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68
主分类号
H01L21/677
代理机构
代理人
主权项
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