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发明名称
MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWTH
摘要
申请公布号
JPH05343323(A)
申请公布日期
1993.12.24
申请号
JP19920147405
申请日期
1992.06.08
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
YAO HIDEKI
分类号
C30B23/08;H01L21/203;H01L21/363;(IPC1-7):H01L21/203
主分类号
C30B23/08
代理机构
代理人
主权项
地址
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