发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343395(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920152372 申请日期 1992.06.11
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 NATORI AKIO
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/316;H01L29/784 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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