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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343347(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920145893 申请日期 1992.06.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIMIZU MASAYUKI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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