发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343698(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920149526 申请日期 1992.06.09
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KIMURA SHOICHI;MISAWA HIDEKI
分类号 G11C17/00;G11C16/02;H01L21/8247;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 主分类号 G11C17/00
代理机构 代理人
主权项
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