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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH05343530(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920150532 申请日期 1992.06.10
申请人 SHARP CORP 发明人 IGAKI TOSHIAKI
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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