发明名称 WIRING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05343519(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920145992 申请日期 1992.06.05
申请人 FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD 发明人 HIBINO SUMITAKA
分类号 H01L21/82;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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