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发明名称 POSITION DETECTOR AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ELEMENT USING IT
摘要
申请公布号 JPH05343295(A) 申请公布日期 1993.12.24
申请号 JP19920176279 申请日期 1992.06.09
申请人 CANON INC 发明人 OTSU YOSHIAKI
分类号 G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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