Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung von Gegenständen.,申请号DE19896010825-传众专利搜索

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发明名称	Verfahren und Vorrichtung zur Trocknung von Gegenständen.
摘要
申请公布号	DE68910825(D1)	申请公布日期	1993.12.23
申请号	DE19896010825	申请日期	1989.09.15
申请人	INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US	发明人	SYKORA, JUERGEN, D-6538 MUENSTER-SARMSHEIM, DE
分类号	B01D1/16;F26B5/04;F26B21/12;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):F26B5/04	主分类号	B01D1/16
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