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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0588547(B2) 申请公布日期 1993.12.22
申请号 JP19860071752 申请日期 1986.03.28
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 SAITO MUTSUO
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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