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发明名称 FABRICATION OF A SEMICONDUCTOR BASE MATERIAL.
摘要
申请公布号 EP0362275(B1) 申请公布日期 1993.12.22
申请号 EP19880905202 申请日期 1988.06.14
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BIRKLE, SIEGFRIED;KAMMERMAIER, JOHANN;SCHULTE, ROLF;WINNACKER, ALBRECHT;RITTMAYER, GERHARD
分类号 B01J19/08;C23C16/00;C23C16/26;H01L21/205;H01L21/365;H01L29/16;(IPC1-7):H01L29/16 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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