| 发明名称 |
WAFER CASSETTE FEED/DISCHARGE DEVICE FOR VERTICAL TYPE DIFFUSION AND CVD DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05338732(A) |
申请公布日期 |
1993.12.21 |
| 申请号 |
JP19920177493 |
申请日期 |
1992.06.11 |
| 申请人 |
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
IZUMI SHOICHIRO;KANO RIICHI;TOMEZUKA KOJI;HARADA YASUHIRO |
| 分类号 |
B65G1/06;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G1/06 |
主分类号 |
B65G1/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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