| 发明名称 |
Mask-structure and process to repair missing or unwanted phase-shifting elements |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
US5272024(A) |
申请公布日期 |
1993.12.21 |
| 申请号 |
US19920866651 |
申请日期 |
1992.04.08 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION |
发明人 |
LIN, BURN J. |
| 分类号 |
H01L21/306;G03F1/00;G03F1/08;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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