| 发明名称 |
FORMATION OF OXIDE THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05339732(A) |
申请公布日期 |
1993.12.21 |
| 申请号 |
JP19920149616 |
申请日期 |
1992.06.09 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
NARUI HIRONOBU;OKUHORA AKIHIKO |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/316;(IPC1-7):C23C16/40 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
