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发明名称 ECR PLASMA ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH05339761(A) 申请公布日期 1993.12.21
申请号 JP19920150787 申请日期 1992.06.10
申请人 SAKAE DENSHI KOGYO KK;OBA KAZUO;SHIMA YOSHINORI;OBA AKIRA 发明人 OBA KAZUO;SHIMA YOSHINORI;OBA AKIRA
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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