发明名称 NOZZLE MOVING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH05337427(A) 申请公布日期 1993.12.21
申请号 JP19920173789 申请日期 1992.06.08
申请人 ORIGIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIMURA HIRONOBU;YAMAGUCHI KATSUMI
分类号 B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
主权项
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