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发明名称
摘要
申请公布号 JPH05339733(A) 申请公布日期 1993.12.21
申请号 JP19920336536 申请日期 1992.11.04
申请人 DE BEERS IND DIAMOND DIV LTD 发明人 RIKARUDO SHIMON SASUMAN
分类号 C23C16/27;C23C16/44;C23C16/452;C23C16/54;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/27
代理机构 代理人
主权项
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