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发明名称 CASSETTE DEVICE FOR SUBSTRATE HOLDING
摘要
申请公布号 JPH05335224(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920138842 申请日期 1992.05.29
申请人 DAINIPPON PRINTING CO LTD 发明人 NAKAMURA HIROYUKI
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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