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发明名称
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH05335490(A)
申请公布日期
1993.12.17
申请号
JP19920138948
申请日期
1992.05.29
申请人
NEC CORP
发明人
YAMAGISHI HIDETAKA
分类号
G01K13/00;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04
主分类号
G01K13/00
代理机构
代理人
主权项
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