发明名称 WIRING STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05335439(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920135185 申请日期 1992.05.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KATO KATSUTO
分类号 H01L23/522;H01L21/768;H01L23/12;(IPC1-7):H01L23/12;H01L21/90 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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