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发明名称 ALIGNMENT DEVICE OF INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH05333291(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920141577 申请日期 1992.06.02
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 KURITA HIROYUKI
分类号 G02B27/62;G01B9/02;G01M11/00;(IPC1-7):G02B27/62 主分类号 G02B27/62
代理机构 代理人
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