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经营范围
发明名称
ELECTRON-BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05335222(A)
申请公布日期
1993.12.17
申请号
JP19920139496
申请日期
1992.05.29
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TAKEUCHI HIROTOKI;SUMI KAZUHIKO
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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