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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH05335231(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920139155 申请日期 1992.05.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 INOUE TADAO;WAKAO KIYOHIDE
分类号 H01L21/20;H01L21/205;H01L21/208;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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