发明名称 POWER CONTROLLING METHOD FOR HIGH-FREQUENCY DISCHARGE CIRCUIT OF GAS LASER
摘要
申请公布号 JPH05335670(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920139147 申请日期 1992.05.29
申请人 AMADA CO LTD 发明人 MIKI NAOKI
分类号 H01S3/097;(IPC1-7):H01S3/097 主分类号 H01S3/097
代理机构 代理人
主权项
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