| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05335415(A) |
申请公布日期 |
1993.12.17 |
| 申请号 |
JP19920139078 |
申请日期 |
1992.05.29 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD |
发明人 |
TAKASHIMA TETSUO |
| 分类号 |
H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82;G06F15/60 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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