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经营范围
发明名称
SINGLE CRYSTAL SILICON WAFER
摘要
申请公布号
JPH05335319(A)
申请公布日期
1993.12.17
申请号
JP19920143837
申请日期
1992.06.04
申请人
NEC KYUSHU LTD
发明人
YAMAGUCHI SHUJI
分类号
H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322
主分类号
H01L21/322
代理机构
代理人
主权项
地址
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