| 发明名称 |
MANUFACTURE OF CHALCOPYRITE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05335350(A) |
申请公布日期 |
1993.12.17 |
| 申请号 |
JP19920142393 |
申请日期 |
1992.06.03 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
NISHITANI MIKIHIKO;NEGAMI TAKAYUKI;WADA TAKAHIRO;HIRAO TAKASHI |
| 分类号 |
H01L21/265;C30B23/02;C30B29/46;H01L21/205;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/363;H01L21/368;(IPC1-7):H01L21/368 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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