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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05335306(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920142574 申请日期 1992.06.03
申请人 NEC CORP 发明人 OBARA SHINJI
分类号 H01L21/3205;H01L21/28;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;H01L29/43;(IPC1-7):H01L21/320;H01L29/46;H01L21/90 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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