发明名称 PROBING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05335385(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920140563 申请日期 1992.06.01
申请人 TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK 发明人 FUJIWARA HITOSHI
分类号 G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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