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经营范围
发明名称
PROBING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH05335385(A)
申请公布日期
1993.12.17
申请号
JP19920140563
申请日期
1992.06.01
申请人
TOKYO ELECTRON YAMANASHI KK
发明人
FUJIWARA HITOSHI
分类号
G01R1/073;G01R31/28;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
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