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发明名称 DIE BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05335356(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920138462 申请日期 1992.05.29
申请人 SHARP CORP 发明人 HORIO TAKAAKI;TAKEMORI HIROSHI;HATA YOSHIHIRO
分类号 H01L21/52;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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