FILM FORMATION METHOD,申请号JP19920141525-传众专利搜索

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发明名称	FILM FORMATION METHOD
摘要
申请公布号	JPH05335255(A)	申请公布日期	1993.12.17
申请号	JP19920141525	申请日期	1992.06.02
申请人	SONY CORP	发明人	SAMEJIMA TOSHIYUKI;HARA MASATERU;SANO NAOKI;USUI SETSUO
分类号	H01L21/205;B41M3/12;H01L21/268;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
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