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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05334986(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920138403 申请日期 1992.05.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKANO YUTAKA
分类号 C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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