发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH05335568(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920138749 申请日期 1992.05.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIZUNO TOMOHISA
分类号 H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/784 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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