发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH05335226(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920139108 申请日期 1992.05.29
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NITANI HIROTAKA
分类号 B05C5/00;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
主权项
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