发明名称 SEMICONDUCTOR ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05335312(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920135282 申请日期 1992.05.27
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJIWARA NORIO
分类号 H01L21/60;H01L21/321;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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