| 发明名称 |
SURFACE INSPECTION INSTRUMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH05332946(A) |
申请公布日期 |
1993.12.17 |
| 申请号 |
JP19920139004 |
申请日期 |
1992.05.29 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
HAYASHI MASAKAZU;UCHIDA JUNZO;TSUMURA AKIRA;TEI ARINARI |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/47;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G01R31/26;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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