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发明名称
FORMATION OF ELECTRICAL DEVICE
摘要
申请公布号
JPH05335303(A)
申请公布日期
1993.12.17
申请号
JP19920140327
申请日期
1992.06.01
申请人
SEIKO EPSON CORP
发明人
SHIMOBAYASHI TAKASHI
分类号
H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/336;H01L21/768;H01L27/12;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90;H01L29/784
主分类号
H01L21/28
代理机构
代理人
主权项
地址
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