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发明名称 GAS FLOW RATE CONTROL DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH05335280(A) 申请公布日期 1993.12.17
申请号 JP19920170229 申请日期 1992.06.03
申请人 SONY CORP 发明人 SUGANO YUKIYASU
分类号 C23C14/54;C23C16/52;C23F4/00;C30B25/14;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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